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2011.07
河北東同光電科技有限公司組建成立
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2011.12
年產(chǎn)50噸AZO靶材項(xiàng)目竣工
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2013.05
氧化鈮靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
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2013.10
氧化鈦靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
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2015.04
氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材研發(fā)成功并投產(chǎn)
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2015.07
TZO及硫化鉬靶材投產(chǎn)
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2015.11
旋轉(zhuǎn)靶材綁定技術(shù)、工藝定型
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2016.04
硅鋁、硅鎳等合金靶材相繼投產(chǎn)
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2017.04
導(dǎo)電氧化鋯、氧化鎢、氧化鉬靶材研發(fā)成功，并投入生產(chǎn)
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2020年
銅鎵合金管靶研發(fā)成功，并完美通過終端測(cè)試，并投入生產(chǎn)
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2022年
PZT靶材及導(dǎo)電精密陶瓷研發(fā)成功，并進(jìn)入量產(chǎn)階段
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2024年
我們 仍在創(chuàng)新
